快科技12月15日动静,IEDM 2024大会上,台积电初次披露了N2 2nm工艺的环节手艺细节和机能目标:对比3nm,晶体管密度添加15%,划一功耗下机能提拔15%,划一机能下功耗降低24-35%。新工艺还添加了NanoFlex DTCO(设想手艺结合优化),能够开辟面积最小化、能效加强的更矮单位,或者机能最大化的更高单位。此外还有第三代偶极子集成,包罗N型、P型,从而支撑六个电压阈值档(6-Vt),范畴200mV。新工艺的纳米片晶体管能够正在0。5-0。6V的低电压下,获得显著的能效提拔,能够将频次提拔大约20%,待机功耗降低大约75%。
此外,台积电2nm还使用了全新的MOL中段工艺、BEOL后段工艺,电阻降低20%,能效更高。值得一提的是,第一层金属层(M1)现正在只需一步蚀刻(1P1E)、一次EVU即可完成,大大降低了复杂度、光罩数量。针对高机能计较使用,台积电2nm还引入了超高机能的SHP-MiM电容,容量大约每平方毫米200fF,能够获得更高的运转频次。28nm工艺以来,历经六代工艺改良,单元面积的能效比曾经提拔了跨越140倍!